特气柜是指主要用于供应特种气体的柜子，气体一般有易燃，易爆，剧毒等特性。主要用于半导体和LED的新兴行业，特气柜由下面几个部件组成：

1. 气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不建议使用CDA（clean dry air），因GN2的供应系统比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中断，此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。

2. 手动控制阀：主要用于第二道防护作为第二次确认用或检修，一般于供应气体的出口端。

3. 逆止阀(单向阀)：防止特气倒灌到清洁用的PN2（高纯氮）系统和抽气用的GN2（普氮）系统。

4. 调压阀：用于调整供应系统的供应压力。

5. 压力传感器：是防护系统中非常重要的零件，透过它我们可以判断管路是否泄漏，相关阀件是否正常开关，同时亦可检知钢瓶的剩余量。

6. 真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气的目的。

7. 气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过滤器，有效过滤气体中的颗粒，过滤器较不易吹扫，所以一般不建议装在常吹扫的管路中。

8. 过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是超过设定值，即判断管路上可能大量泄漏，进而关闭供应系统停止供气。

9.限流孔：是一种简易又有效的过流量控制装置，用以限制大量气体流过，一般适用于出口处，其主要功用是避免大量的特殊气体排出，区域性的废气处理机无法处理的情况发生。

其中：对于特气柜里重要的仪器仪表组成部分，压力表和压力传感器质量的好坏，对设备正常运行、数据采集起到了决定性的作用。长野计器（NKS）生产的压力表和压力传感器GW系列和ZT系列就是为半导体特气柜量身定做的产品，长野计器的产品具有响应速度快，信号采集输出稳定，安全可靠。产品在市场中名列前茅，收到了客户的一致认可。

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