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压力测量
压力传感器
半导体用压力传感器
小型高纯气压力传感器
小型高纯气压力传感器
ZT11系列
产品描述：
半导体行业专用,各种半导体设备的超纯气体压力测量
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产品特征
· 产品体积小
· UC超洁净处理
· 精度高
· 带零调及满偏调节功能
· 产品可靠寿命长
规格参数
测量介质
各种工业气体、半导体气体
电气连接
插头式
连接口径
1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸请联系我们。
接液部材质
接头： SUS316L
压力范围
0～0.3→0～20MPa
-0.1～0.3→-0.1～2MPa
精 度
± 0.5% ,±0.25%
电源
24V DC
输出
4-20mA 1-5V DC
响应速度
1ms以下
温度范围
-20-70℃
防护等级
室内用
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