小型高纯气压力传感器
ZT11系列

产品描述:

半导体行业专用,各种半导体设备的超纯气体压力测量

产品特征

· 产品体积小
· UC超洁净处理
· 精度高
· 带零调及满偏调节功能
· 产品可靠寿命长

规格参数


测量介质各种工业气体、半导体气体
电气连接插头式
连接口径1/4VCR、1/4NPT   如需其他尺寸请联系我们。
接液部材质接头: SUS316L   
压力范围0~0.3→0~20MPa

-0.1~0.3→-0.1~2MPa
精 度 ± 1.0% 
电源24V DC  
输出4-20mA    1-5V DC  
响应速度1ms以下
温度范围-20-70℃
防护等级室内用