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差压传感器

型号:VR-55PT•TCD系列

概述:高耐压差压传感器

规格:精度±0.5%F.S. 量程±1～10kPa 耐压1MPa

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光电开关小型压力表

型号:JK50系列

概述:用于控制压力报警输出

规格:量程：-0.1～35MPa 显示精度：±2%F.S.

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通用型高纯气压力表

型号:GW11/16系列

概述:半导体行业用测量高纯气体压力表

规格:量程：-0.1～100MPa 精度：±1.5%F.S.

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小型高纯气压力表

型号:GW28系列

概述:半导体行业用测量高纯气体压力表

规格:量程：-0.1～25MPa 精度：±1.5%F.S.

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高纯气数字压力表

型号:ZT60系列

概述:半导体行业用测量高纯气体用数字压力表

规格:量程：-0.1～20MPa 精度：±1%F.S.

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小型高纯气数字压力表

型号:ZT67系列

概述:半导体行业用测量高纯气体用数字压力表

规格:量程：-0.1～20MPa 精度：±1%F.S.

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高纯气用压力开关

型号:CB14系列

概述:半导体行业用压力开关

规格:量程：-0.1～2.1MPa 精度：±1%F.S.

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小型高纯气压力传感器

型号:ZT11系列

概述:半导体设备的超纯气体压力测量

规格:量程：0-20MPa 绝压：0-1MPa abs 精度：±0.25%或±0.5%F.S.

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半导体行业用压力传感器

型号:ZT15系列

概述:半导体设备的超纯气体压力测量

规格:量程：0-20MPa 绝压：0-1MPa abs 精度：±1%或±0.5%F.S.

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本安防爆传感器

型号:KJ96系列

概述:半导体设备的超纯气体压力测量

规格:量程：-0.1-20MPa 精度：±1%或±0.5%F.S.

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高精度电气比例阀

型号:APU系列

概述:高精度闭环反馈，快速响应，自动压力/流量控制器

规格:压力范围：-99～1000kPa 控制精度0.1%F.S.

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通用型调压阀

型号:XR56系列

概述:为半导体行业供给系统及设备专门开发制造的调压阀。

规格:一次压:2MPa 二次压:0.01-0.3MPa

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小型调压阀

型号:XR66系列

概述:为半导体行业开发的大流量小型调压阀。

规格:一次压:1MPa 二次压:0.05-0.7MPa

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